S530 功能

• 靈活的探測器接口選項，包括測試頭，支持原有吉時利和 Keysight 裝置
• 行業(yè)標準的 KTE 軟件環(huán)境
• 觸摸一次探頭即可完成高壓和低壓參數(shù)的測試
• 通過全新系統(tǒng)參考單元 (SRU) 進行全自動系統(tǒng)級校準符合質量標準
• KTE 7 中的運行狀況檢查軟件工具限度地延長系統(tǒng)正常運行時間和提高數(shù)據(jù)完整性
• 內置的瞬態(tài)過電壓和/或過電流事件保護可地減少代價高昂的系統(tǒng)停機或對晶片造成損壞
• 符合 ISO-17025 校準要求并支持 IATF-16949 合規(guī)性
• 提供 SECS/GEM 與 300 毫米晶圓廠的集成

S540 功能

• 在單次探頭觸摸中自動在多達 48 個引腳上執(zhí)行所有晶片級參數(shù)測試，包括高電壓擊穿、電容和低電壓測量，而無需更改電纜或探頭卡基礎設施
• 在達 3kV 的條件下執(zhí)行晶體管電容測量，如 Ciss、Coss 和 Crss，而無需手動配置測試引腳
• 在高速、多引腳、全自動測試環(huán)境中實現(xiàn)低電平測量性能
• 基于 Linux 的 Keithley 測試環(huán)境 (KTE) 系統(tǒng)軟件支持輕松進行測試開發(fā)和快速執(zhí)行
• 非常適合于過程集成、過程控制監(jiān)控和生產芯片分類中的全自動或半自動應用
• 通過減少測試時間、測試設置時間和占地面積，降低擁有成本，同時實現(xiàn)實驗室級測量性能

S500 功能

• 全量程源測量單元 (SMU) 儀器技術規(guī)格，包括 subfemtoamp 測量，確保在幾乎任何設備上都能執(zhí)行廣泛的測量。
• 適用于內存檢定、電荷泵、單脈沖 PIV（電荷陷阱分析）和 PIV 掃描（自加熱回避）的脈沖生成和超快 I-V。
• 利用支持 Keithley 系統(tǒng)的可擴展 SMU 儀器，提供低或高通道數(shù)系統(tǒng)，包括并行測試。
• 適用于測試功率 MOSFET 和顯示驅動器等測試器件的高電壓、電流和功率源測量儀器。
• 開關、探頭卡和布線保證系統(tǒng)適用于您的 DUT。